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微波等離子體化學氣相沉積 (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition )是高效、高質(zhì)量制備金剛石的首選方法,打破了設備對 襯底尺寸的限制,為大面積單晶金剛石生長提供條件。
氣密性檢漏儀一般有直壓式,差壓式和流量式等,檢測系統(tǒng)在真空或正壓條件下形成壓差,通過判斷壓力或者流量的變化來計算泄漏量的檢測方法。