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微波等離子體化學氣相沉積 (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition )是高效、高質量制備金剛石的首選方法,打破了設備對 襯底尺寸的限制,為大面積單晶金剛石生長提供條件。
微波等離子體化學氣相沉積 (Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition )是高效、高質量制備金剛石的首選方法,打破了設備對 襯底尺寸的限制,為大面積單晶金剛石生長提供條件。